下载一种多晶硅铸锭炉用铸锭装置的技术资料

文档序号:28931593

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种多晶硅铸锭炉用铸锭装置,包括石英坩埚,所述石英坩埚内部两侧可拆卸连接有石英板,所述石英坩埚顶部可拆卸连接有盖体,所述石英坩埚外部套设有石墨护板,所述石墨护板外部套设有加热器,所述石墨护板与所述加热器之间设有石墨炭毡套。本发明有...
该专利属于中南大学所有,仅供学习研究参考,未经过中南大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。