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一种相互补料的单晶炉及其使用方法技术
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下载一种相互补料的单晶炉及其使用方法的技术资料
文档序号:28931591
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本发明公开了一种相互补料的单晶炉及其使用方法,包括炉体,所述炉体内设有两个开口向上的存放腔,所述存放腔内设有用于熔融多晶硅的熔融组件,所述存放腔上侧设有用于夹紧固定子晶的夹紧组件,两个所述存放腔之间设有用于导流的熔融液体的转接组件,所述转接...
该专利属于杨斌所有,仅供学习研究参考,未经过杨斌授权不得商用。
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