下载控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法的技术资料

文档序号:28931248

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本发明公开了一种控制大尺寸全固态电致变色器件着色的工艺方法,所述电致变色器件包括第一透明导电层和第二透明导电层,利用磁控溅射工艺在基板上镀第一透明导电层和第二透明导电层时,沿着第一透明导电层的阳极到阴极方向,所使用的氧气分压梯度逐渐减少,沿...
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