温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种大直径硅棒翻转装置,包括立杆,所述立杆的数量为两个,所述立杆的顶端固定装配有侧板,所述侧板的表面开设有凹槽,两个所述侧板之间固定装配有底板,所述底板的表面开设有开口,所述开口的内壁一侧固定装配有电机。立杆用于对侧板进行支...该专利属于辽宁中电科半导体材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过辽宁中电科半导体材料有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本实用新型公开了一种大直径硅棒翻转装置,包括立杆,所述立杆的数量为两个,所述立杆的顶端固定装配有侧板,所述侧板的表面开设有凹槽,两个所述侧板之间固定装配有底板,所述底板的表面开设有开口,所述开口的内壁一侧固定装配有电机。立杆用于对侧板进行支...