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本实用新型提供扩散泵泵口法兰,包括:下法兰,其包括第一通孔;下法兰上部的外壁设置有第一螺纹;上法兰,其包括上部固定件、下部连接件以及贯通上部固定件的第二通孔;上部固定件下部的外壁上设置有第二螺纹,下部连接件的内壁上开设有与第一螺纹和第二螺纹...该专利属于沈阳蓝菱真空设备制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳蓝菱真空设备制造有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供扩散泵泵口法兰,包括:下法兰,其包括第一通孔;下法兰上部的外壁设置有第一螺纹;上法兰,其包括上部固定件、下部连接件以及贯通上部固定件的第二通孔;上部固定件下部的外壁上设置有第二螺纹,下部连接件的内壁上开设有与第一螺纹和第二螺纹...