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本发明提供一种溅射装置模拟方法，包括：计算溅射颗粒和环境气体颗粒之间碰撞的碰撞点和碰撞时间。将碰撞时间与具有规定长度的单位时间进行比较。当碰撞时间小于单位时间时，参考在前一单位时间内进行热分析得到的结果计算在碰撞点处环境气体的温度。使用温度...
该专利属于日本电气株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电气株式会社授权不得商用。

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