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本发明公开了一种堆叠式感应电容角度反馈振镜，在微振镜中集成电容式角度反馈传感器，实现了微振镜的角度反馈，可以显著提高控制精度，并且该电容式角度反馈传感器与微振镜的驱动梳齿组垂直布置，不需要占用额外面积，无需增大微振镜面积，并且微振镜与角度反...
该专利属于西安知象光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知象光电科技有限公司授权不得商用。

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