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本发明提供一种基于机械臂的超声椭圆振动装置测量系统及方法，方法包括如下步骤：(1)通过机械臂完成激光干涉仪的粗定位；(2)利用爬山算法实现自动聚焦；(3)获取超声椭圆振动装置的固有频率；(4)分别获取X、Y向的振动信号，并进行轨迹合成。本发...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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