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本实用新型的具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置属于微波能应用技术领域。所述的微波耦合等离子体发生装置由微波同轴谐振腔部分和磁场发生部分组成；所述的微波同轴谐振腔部分包括外导体(1)、微波天线(2)、内导体(3)、中管(4)、...
该专利属于吉林大学所有，仅供学习研究参考，未经过吉林大学授权不得商用。

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