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本发明提供一种光配向装置、双台光配向装置、光配向方法及光配向系统，通过对按设定的角度对承载卷带的载台进行旋转后，而后再通过位置调整单元对卷带的位置进行调整。即，在光配向光线系统不动的情况下，通过载台旋转和移动，以及调整载台的附属机构来达到卷...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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