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本发明公开了一种芯片级密封的电磁驱动振镜，自下而上依次由基板、背腔板、绝缘层、结构层，以及前腔板连接而成；其中基板的上下表面均为平面；背腔板为具有贯通腔的上下表面为平面的平板，背腔板下表面与基板上表面连接；绝缘层为环状薄层，其下表面与背腔板...
该专利属于西安知象光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安知象光电科技有限公司授权不得商用。

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