下载一种IGZO粉体、靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:28819783

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本发明公开了一种IGZO粉体的制备方法,属于工业材料制备领域。本发明所述IGZO粉体制备方法中,选用特定具有分散及粘连功能的助剂与氧化物原料直接混合后,先经超声处理再研磨,既保障了粘结效果及最终产品的颗粒均一性;同时利用超声振动处理提高浆料...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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