下载一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备及退火方法的技术资料

文档序号:28819475

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本发明公开了一种低应力高世代基板玻璃在线退火设备及退火方法,包括若干个平行布置的退火炉单元,相邻退火炉单元之间不接触,相邻退火炉单元之间的间隙为基板玻璃过道,所述退火炉单元包括若干个依次堆积的单元外壳,单元外壳的顶部外壁上均可拆卸连接有挡板...
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