下载一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构的技术资料

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本实用新型涉及涂层设备技术领域,尤其是指一种带有弹性密封件的真空罩液冷结构,其包括真空罩、液冷载台组件和弹性密封件,液冷载台组件包括液冷载台、出液空心支撑管和旋转驱动件,弹性密封件为弹性环状体,液冷载台内部设有液冷空腔,液冷空腔转动安装有旋...
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