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本发明公开了一种片上集成波导的微盘腔及其制备方法。该微盘腔包括：氧化硅片；氧化硅片包括硅基衬底和氧化硅半导体层；氧化硅半导体层包括功能区和非功能区；功能区包括波导结构、微盘结构及位于微盘结构内的第一开口；非功能区包括第二开口；微盘结构与第一...
该专利属于南京大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京大学授权不得商用。

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