下载一种低摩擦TiN膜层的制备方法的技术资料

文档序号:28774194

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本发明公开了一种低摩擦TiN膜层的制备方法,具体按照以下步骤实施:步骤1、通过磁控溅射法或多弧离子镀法在工件表面制备TiN膜层;步骤2、使用去离子水清洗经步骤1处理的工件,然后将工件置于真空室中用紫外线对工件表面进行预照射;步骤3、预照射结...
该专利属于西安钛斗金属制品科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安钛斗金属制品科技有限公司授权不得商用。

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