下载一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置的技术资料

文档序号:28774175

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本发明提供一种基于光源波动抑制技术的MOEMS加速度计信号提取装置,由压电激励模块、MOEMS加速度计、两组光信号处理回路和激光器闭环控制回路组成。其中,每组光信号处理回路包括光电探测器,低噪放大器,带通滤波器,模拟解调器,A/D转换器,F...
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