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本申请涉及一种晶圆测试装置及晶圆测试方法。该晶圆测试装置包括：立柱；探针台，设于立柱，探针台上设置有探针且开设有测试窗口；清洁台，通过替换机构与立柱连接；以及样品台，通过替换机构与立柱连接，样品台设置在探针台和清洁台之间；其中，替换机构用于...该专利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））授权不得商用。