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本实用新型公开一种导料机构和等离子清洗机,其中,导料机构包括导料安装座、调宽驱动件和导料模组。所述导料模组安装于所述导料安装座上并包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件,每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件,两个所述传送...该专利属于深圳泰德半导体装备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳泰德半导体装备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开一种导料机构和等离子清洗机,其中,导料机构包括导料安装座、调宽驱动件和导料模组。所述导料模组安装于所述导料安装座上并包括沿一直线方向间隔相对的两个导料组件,每个所述导料组件在面向另一导料组件的表面上设有传送结构件,两个所述传送...