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在基板（２０）上与位移电极（４０）对置来形成电容元件电极（Ｅ１）及基准电极（Ｅ３１），配置具有圆顶形状的开关可动电极（Ｅ２１），使其与基准电极（Ｅ３１）接触，并且与基准电极（Ｅ３１）的内侧形成的开关固定电极（Ｅ１１）隔离并对其进行覆盖。对检...
该专利属于新田株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过新田株式会社授权不得商用。

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