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半导体激光器和平面光波导耦合结构、光路系统及制造方法技术方案
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文档序号:28746357
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本发明公开了半导体激光器和平面光波导耦合结构、光路系统及制造方法,涉及半导体激光技术领域。耦合结构包括输入波导结构和抛物线整形结构,输入波导结构位于抛物线整形结构的一端,抛物线整形结构的波导结构为抛物线形;输入波导结构与半导体激光器的输出端...
该专利属于西安奇芯光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奇芯光电科技有限公司授权不得商用。
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