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本发明提供一种基于傅里叶变换的光酸扩散长度测定方法，利用SEM机台量测显影后光刻胶的线边缘粗糙度；对线宽值进行傅里叶变换，得到功率谱密度函数；根据功率谱密度函数确定低频和中频区间转折点的空间频率；计算不同温度下的空间频率，并提供不同温度下实...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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