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一种双异质结极化增强的准纵向GaNHEMT器件制造技术
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下载一种双异质结极化增强的准纵向GaNHEMT器件的技术资料
文档序号:28735646
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本发明属于功率半导体技术领域,具体涉及一种双异质结极化增强的准纵向GaN HEMT器件。本发明相对于传统的GaN HEMT,采用P型GaN层提高二维空穴气浓度,耐压时双异质结界面处的二维电子气和空穴气分别耗尽,留下极性相反的固定极化电荷,电...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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