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本实用新型公开了一种可调的化学气相沉淀装置，包括沉淀筒、气体均布件、晶圆布置件；晶圆布置件的侧壁上均匀设置有若干用来安装晶圆的夹筒；夹筒包括上下对称设置上夹持臂和下夹持臂；上夹持臂固定设置在晶圆布置件的外侧壁上；下夹持臂与晶圆布置件进行上下...
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