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本实用新型公开了一种便于移动的化学气相沉淀装置，包括沉淀筒、气体均布件、晶圆布置件；沉淀筒的底部设置有底座；底座的底部设置有四个滚轮；底座的四周各设置有一个支撑螺柱；底座的四周各设置有一个贯穿底座顶面、底面的螺纹孔；支撑螺柱与螺纹孔进行螺纹...
该专利属于青岛微弘设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛微弘设备技术有限公司授权不得商用。

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