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硅片承载器底托杆，它涉及硅片生产设备技术领域；它包含托杆本体、分隔齿、右端板、左端板、右螺杆、右螺母、左螺杆、左螺母和橡胶圈；所述的托杆本体上并列固定有若干分隔齿，托杆本体的两端分别固定有右端板和左端板，右端板和左端板的外侧分别固定有右螺杆...
该专利属于张献所有，仅供学习研究参考，未经过张献授权不得商用。

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