下载类单晶生长炉的技术资料

文档序号:28683169

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本实用新型公开了一种类单晶生长炉,包括坩埚、盖板和挡气板。坩埚具有收容硅料的腔室,盖板盖设于坩埚,挡气板设于所述坩埚内,物料位于挡气板和坩埚底壁之间,挡气板的边缘具有导向部,导向部适于将气体从导向部的下方引导至导向部的上方。根据本实用新型的...
该专利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司授权不得商用。

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