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一种逆变高频脉冲离子设备制造技术
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下载一种逆变高频脉冲离子设备的技术资料
文档序号:28682913
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本实用新型公开了一种逆变高频脉冲离子设备,包括左右两个抵在一起的炉体,还包括设置在两个炉体内的盛放零件的工装机构以及供工装机构左右滑动的导轨机构,所述导轨机构安装在两个炉体内,且工装机构能够通过导轨机构抽出以便放置工件。打开时,左侧炉体向左...
该专利属于上海光层材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海光层材料科技有限公司授权不得商用。
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