下载化合物半导体的生产控制方法、生产系统及存储介质的技术资料

文档序号:28676046

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本发明公开一种化合物半导体的生产控制方法、生产系统及存储介质,化合物半导体的生产控制方法包括控制装置获取生产计划,控制装置根据所述生产计划,确定排产的目标工序,然后根据所述目标工序,确定每一所述工序对应的制程设备的工作数量,控制装置根据多个...
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