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一种抗蚀剂组合物，通过曝光产生酸并且对显影液的溶解性因酸的作用而变化，含有：对显影液的溶解性因酸的作用而变化的基材成分(A)；与离子液体(Z)，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为25质量％以上。...
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