下载用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置及调整方法的技术资料

文档序号:28671421

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置,其包括干涉仪、多自由度自适应调整机构、标准平晶;多自由度自适应调整机构包括多自由度调整模块和闭环控制器,两镜反射系统安装在多自由度调整模块上,干涉仪同轴布置在两镜反射系统前方,标准平...
该专利属于西安应用光学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安应用光学研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。