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用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置及调整方法制造方法及图纸
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下载用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置及调整方法的技术资料
文档序号:28671421
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本发明公开了一种用于两镜反射系统的多自由度自适应调整装置,其包括干涉仪、多自由度自适应调整机构、标准平晶;多自由度自适应调整机构包括多自由度调整模块和闭环控制器,两镜反射系统安装在多自由度调整模块上,干涉仪同轴布置在两镜反射系统前方,标准平...
该专利属于西安应用光学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过西安应用光学研究所授权不得商用。
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