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本发明涉及一种湿度传感器及其制备方法，尤其是一种高性能湿度传感器及其制备方法。按照本发明提供的技术方案，所述高性能湿度传感器，包括衬底以及设置于所述衬底上的湿度测量单元，所述湿度测量单元包括湿敏电容以及与所述湿敏电容适配的感湿单元体；在所述...
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