下载一种真空封装的石墨烯谐振式光纤压力传感器及其制作方法的技术资料

文档序号:28668529

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本发明公开了一种真空封装的石墨烯谐振式光纤压力传感器,包括硅压力敏感单元(1)、石墨烯膜(2)、夹持件(3)、玻璃封盖(4)、插芯(5)以及光纤(6)。传感器以真空封装的石墨烯膜为谐振元件,通过对悬浮石墨烯膜光热激振,并基于法布里‑珀罗干涉...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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