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一种真空封装的石墨烯谐振式光纤压力传感器及其制作方法技术
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文档序号:28668529
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本发明公开了一种真空封装的石墨烯谐振式光纤压力传感器,包括硅压力敏感单元(1)、石墨烯膜(2)、夹持件(3)、玻璃封盖(4)、插芯(5)以及光纤(6)。传感器以真空封装的石墨烯膜为谐振元件,通过对悬浮石墨烯膜光热激振,并基于法布里‑珀罗干涉...
该专利属于北京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京航空航天大学授权不得商用。
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