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本发明公开了一种多阳离子苯并咪唑缓蚀剂及其制备方法，包括：4,4’,4”‑三甲酸三苯胺与N1‑(嘧啶‑2‑基)乙二胺进行酰化、环化反应制备三(4‑(1‑(嘧啶‑2‑基)咪唑‑2‑基)苯基)胺)(tMdMz‑A)，再经季铵化反应，制得多阳离子...
该专利属于李艳艳所有，仅供学习研究参考，未经过李艳艳授权不得商用。

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