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本发明涉及一种有机半导体器件原位电学性能智能监测设备，包括：真空腔体，提供器件制备及原位监测的真空环境；蒸发源，提供器件制备的原材料；检测组件，包括用于实现原位电学检测的探针、设置在真空腔体外的探针座和带动探针座移动的探针移动台，探针座与真...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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