下载一种光流集成的宽带、高效率多层衍射光学元件及其制备方法的技术资料

文档序号:28620676

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本发明公开了一种光流集成的宽带、高效率多层衍射光学元件及其制备方法,属于功能型光学元件技术领域,通过调整衍射基元的高度及不同材料衍射层的色散匹配,从而实现宽谱高衍射效率的器件结构设计;多层衍射元件的主体部分是光学树脂SU‑8,与之色散匹配的...
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