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本公开提供一种硅基波导分光芯片及光谱分析系统，其中硅基波导分光芯片包括：耦合光栅、分束器、热光调相MZI模块、合束器和和光电探测器；热光调相MZI模块包括第一分光臂和第二分光臂；耦合光栅将输入光耦合至分束器的输入端；分束器将输入光分成第一光...该专利属于中国电子科技集团公司信息科学研究院;联合微电子中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司信息科学研究院;联合微电子中心有限责任公司授权不得商用。