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本发明公开一种薄膜传感器及其制备方法，该薄膜传感器包括：基片；设置在基片上的绝缘层；以及设置在所述绝缘层上的第一薄膜热电偶、薄膜热电偶阵列和敏感栅单元3种器件中的至少两种；所述第一薄膜热电偶用于温度测量；所述薄膜热电偶阵列用于热流密度测量；...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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