下载一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统及检测方法的技术资料

文档序号:28617195

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本发明涉及一种斜照明式的彩色共聚焦测量系统及检测方法,测量系统包括光源模块、色散镜头模块、运动载物模块、反射镜头模块和采集计算模块。光源模块射出复色光束通过色散镜头模块,色散成不同波长的多个光束,再聚焦至运动载物模块上的被测物,移动运动载物...
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