下载一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统和检测方法的技术资料

文档序号:28617193

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本发明公开了一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统。该测量系统包括照明光路、水平运动平台、反射光路、采集光路和计算模块。水平运动平台上能安装被测物。照明光路的入射光部分聚焦至被测物表面,再反射至所述发射光路,再在反射光路上反向射回,并经过反射...
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