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一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统和检测方法技术方案
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文档序号:28617193
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本发明公开了一种改进的斜照明式彩色共聚焦测量系统。该测量系统包括照明光路、水平运动平台、反射光路、采集光路和计算模块。水平运动平台上能安装被测物。照明光路的入射光部分聚焦至被测物表面,再反射至所述发射光路,再在反射光路上反向射回,并经过反射...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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