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无硒气氛制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池的方法技术
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文档序号:28610496
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本发明公开了一种无硒气氛制备铜铟镓硒薄膜太阳能电池的方法。包括以下步骤:a.阻挡层的制备;b.背电极层制备;c.铜铟镓硒吸收层制备:在溅射铜铟镓硒吸收层的过程中通入氢气,或者在铜铟镓硒吸收层溅射完成后,低功率溅射铜铟镓硒靶材1‑5min,同...
该专利属于河北大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北大学授权不得商用。
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