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本发明公开了一种超快激光多焦点大间距并行加工装置及方法，装置包括超快激光发生器、扩束镜、分光棱镜、空间光调制器、反射镜、长距离分光传输阵列组、聚焦振镜组、工件；超快激光器产生超短脉冲激光束，经过空间光调制器和光学器件的调制，由长距离分光传输...
该专利属于浙江师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江师范大学授权不得商用。

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