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本发明公开了一种晶圆复合清洗设备，包括设备外壳、设置在设备外壳内的复合腔体结构、以及设置在复合腔体结构内的晶圆支撑结构；所述设备外壳上安装有抽气装置和至少一个喷淋管；所述晶圆支撑结构用于使晶圆悬浮在其上方并向晶圆背面喷射清洗液；复合腔体结构...该专利属于至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过至微半导体(上海)有限公司;江苏启微半导体设备有限公司授权不得商用。