下载一种半导体芯片生产用机械手的技术资料

文档序号:28586495

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本实用新型公开了一种半导体芯片生产用机械手,包括支撑件、支板、挤紧件和调节件,所述支撑件的顶端固定有支板,所述支板的顶端固定有挤紧件和限位件,若干个所述调节件均固定在挤紧件靠近限位件的一侧,所述挤紧件包括挡块、活动块和液压杆,所述挡块固定在...
该专利属于苏州市鑫龙净化机械设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州市鑫龙净化机械设备有限公司授权不得商用。

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