下载一种具有搬运功能的光源装置以及测试系统的技术资料

文档序号:28580559

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本实用新型涉及测试技术领域,尤其涉及一种具有搬运功能的光源装置以及测试系统。该光源装置包括光源组件、出光组件以及吸真空组件。其中,光源组件为待测件提供光源,出光组件设置在光源组件的出光侧,出光组件上开设有透光通道,透光通道的一端与光源组件正...
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