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提供了相变存储器单元结构及其制造方法。在一个示例中,存储器单元包括第一电极层、形成在第一电极层上的选择器件、形成在选择器件上的第一金属层、形成在第一金属层上的中间电极层、形成在中间电极层上的相变材料、以及形成在相变材料上的第二电极层。中间电...该专利属于长江先进存储产业创新中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江先进存储产业创新中心有限责任公司授权不得商用。
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提供了相变存储器单元结构及其制造方法。在一个示例中,存储器单元包括第一电极层、形成在第一电极层上的选择器件、形成在选择器件上的第一金属层、形成在第一金属层上的中间电极层、形成在中间电极层上的相变材料、以及形成在相变材料上的第二电极层。中间电...