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减少测定装置的成本。使测定装置的结构简化。提供一种能够以更高的精度进行测定的测定装置。测定装置(10)包括发送部(13)、接收部(14)、控制部(11)及显示部(15)。控制部包括存储部(21)及运算部(22)。发送部具有输出用来在探针(4...
该专利属于株式会社半导体能源研究所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社半导体能源研究所授权不得商用。

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