下载自适应对准机构及其浮动压头装置的技术资料

文档序号:28566761

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本实用新型提供一种自适应对准机构及其浮动压头装置,浮动压头装置包括:第一固定装置,具有容置空间,且形成朝向第一方向的开口;第一弹性单元沿第一方向弹性形变,第一弹性单元的第一端固定于第一固定装置与开口相对的底壁;板状件所在平面垂直于第一方向,...
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