下载一种用于多晶硅的清洗装置的技术资料

文档序号:28560428

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本实用新型公开了一种用于多晶硅的清洗装置,涉及多晶硅加工技术领域,具体为一种用于多晶硅的清洗装置,包括支撑腿,所述支撑腿的顶部固定安装有清洗箱,该用于多晶硅的清洗装置,通过侧置隔离板、隔板以及盖板的配合使用,利用侧置隔离板以及多个隔板进而形...
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