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本发明公开了一种碳基表面形成碳化钽涂层方法，所述方法包括：提供一碳基体；于所述碳基体表面形成至少一预涂层，所述预涂层的原料由碳化钽粉末和/或五氧化二钽、石墨粉，以及酚醛树脂的混合物组成；于所述预涂层表面涂覆五氧化二钽以形成表层；经加热和退火...
该专利属于中电化合物半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中电化合物半导体有限公司授权不得商用。

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